氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥隔振設(shè)計(jì)及性能分析
壓印光刻機(jī)是一種精密儀器,外界環(huán)境激勵(lì)對(duì)壓印光刻機(jī)的影響很大。氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥是一種氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥,用氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥隔離外界環(huán)境對(duì)壓印光刻機(jī)的干擾,能保護(hù)壓印光刻機(jī)免受低頻激勵(lì)力的激勵(lì),文中闡述壓印光刻機(jī)低頻氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥單自由度隔振系統(tǒng)的隔振原理,確定氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥的剛度及隔振系統(tǒng)的固有頻率,隔振系統(tǒng)的固有頻率及隔振效率的理論結(jié)果與實(shí)際隔振系統(tǒng)的試驗(yàn)結(jié)果相吻合,表明壓印光刻機(jī)的低頻隔振設(shè)計(jì)是合理可行的。