電動調節(jié)閥隔振設計及性能分析
壓印光刻機是一種精密儀器,外界環(huán)境激勵對壓印光刻機的影響很大。電動調節(jié)閥是一種調節(jié)閥,用電動調節(jié)閥隔離外界環(huán)境對壓印光刻機的干擾,能保護壓印光刻機免受低頻激勵力的激勵,文中闡述壓印光刻機低頻電動調節(jié)閥單自由度隔振系統(tǒng)的隔振原理,確定電動調節(jié)閥的剛度及隔振系統(tǒng)的固有頻率,隔振系統(tǒng)的固有頻率及隔振效率的理論結果與實際隔振系統(tǒng)的試驗結果相吻合,表明壓印光刻機的低頻隔振設計是合理可行的。